Integrated circuits metrology - May 4-5, 1982, Arlington, Virginia
- Författare
- (Diana Nyyssonen, chairman/ed. coop. organization: National bureau of standards)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE | cop. 1982 | USA, Bellingham, Wash | 132 sidor. : diagr., ill., tab. | 0-89252-377-8 |